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光刻機是干什么用的?光刻機與蝕刻機哪個貴?

光刻機是做什么用的,我們手機中的芯片就是光刻機刻的嗎?光刻機一共就那么十幾臺,全球的芯片好幾個億,真刻的過來嗎?光刻機與蝕刻機哪個更貴?

2021-04-09
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匿名用戶

2021-04-09

  光刻機是芯片制造流程中的核心設備,由于用途不同,分為生產芯片的光刻機、用來封裝的光刻機和LED領域的投影光刻機。

  芯片的制造流程很復雜,可以分為:硅片制備、外延工藝、熱氧化、擴散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕和工藝集成等。

  光刻工藝是制造流程中最關鍵的一步,光刻確定了芯片的關鍵尺寸,在整個制造過程中大約占了整體制造成本的35%。

  蝕刻機分為兩類,目前主流的是濕刻,還有一類是干刻,濕刻就是特定的化學溶液和光刻機制作后的薄膜發(fā)生反應后剩下的東西,就是需要的東西,整個過程有液體接觸,所以稱為濕刻。

  光刻機要更貴一些,一般來說,一架光刻機是7000萬美元,而一架刻蝕機是700萬美元。

  低端光刻機技術與刻蝕機是差不多的,高端光刻機技術會比刻蝕機要高的多;原理上光刻機與刻蝕機難度基本上相等。

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